梅特勒-托利多产品在半导体行业中超纯水的电导连续测量

简介

在半导体生产企业中，需要大量的超纯水来清洗晶片。保证水纯度的高质量对该行业来说非常重要，可以防止晶片上的超微结构被损坏。通常，需要控制水在18Mcm。通常通过电导率及温度的控制来确保水的高纯度。

晶片生产流程

晶片的生长


晶片的生产过程


晶片的包装


测量难点

在今天，利用较高温度的水来清洗晶片已经成为一种发展趋势，因为较高温度的水在溶解杂质及油的能力相对有所提高。
在测量超纯水的电导率时，为了得到精确的测量值，温度是不可忽视的主要原因。因为超纯水在800C 时的温度系数为大约 3%/0C，这相当于温度相差10C，电导率测量的误差在3%左右。温度的精确测量是保证电导率测量的前提之一。另外，正确的使用温度补偿也十分重要。

推荐系统
·传感器：InPro7010电导传感器
·变送器：7050电导变送器
传感器液接部位采用钛合金制成，耐高温，并且内置温度传感器，可进行精确的温度补偿。

益处
整个系统安装及操作简便，测量精度高，价格实惠。